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由于闭环压电定位器中通常使用的放大器和传感器具有模拟特性,分辨率并非由离散步进决定(步进电机或增量编码器则典型如此),这使得它在理论上是无限的。实际上,始终需要考虑微观摩擦,并且传感器和控制电子元件的噪声也会对实际可用分辨率产生影响。对于典型的成像、定位和对准应用,实际可用分辨率是独立测量所得位置噪声的1σ值,或约为峰峰值噪声的六分之一。如上所述,除了这个统计数字外,定位器执行纳米级离散步进的图形数据,能大量揭示系统响应、稳定性和重复性的信息,并直接适用于纳米定位系统的使用方式。
展望未来,32721)的发展趋势值得持续关注。专家建议,各方应加强协作创新,共同推动行业向更加健康、可持续的方向发展。